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電化學(xué)沉積CNx薄膜的摩擦性能研究 |
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| 資料類型： |
PDF文件
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| 關(guān)鍵詞： |
CNx薄膜 電化學(xué)沉積 摩擦學(xué)性能 |
| 資料大?。?/td>
| 202K |
| 所屬學(xué)科： |
性能表征 |
| 來源： |
來源網(wǎng)絡(luò) |
| 簡介： |
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以單晶硅片（100）為襯底，尿素－甲醇有機溶液為沉積液，用電化學(xué)沉積的方法在陰極制備出CNx薄膜。通過AFM、XPS、Raman光譜和FTIR光譜對得到的CNx薄膜的表面形貌和微觀結(jié)構(gòu)進行了表征，并在球－盤摩擦試驗機上考察了薄膜的干摩擦性能，用SEM和EDS對摩擦表面進行了分析，研究了摩擦機理。結(jié)果表明：薄膜表面致密，但粗糙度較大；Raman光譜中出現(xiàn)明顯的D峰和G峰，說明薄膜具有無定形的結(jié)構(gòu)特征；薄膜的化學(xué)元素組成主要為C，還有少量的N，C、N原子之間主要以共價單鍵和雙鍵形式結(jié)合。CNx薄膜與紅寶石球?qū)δr，摩擦系數(shù)隨頻率的增大而升高，但幾乎不隨載荷而變化；CNx薄膜在形成轉(zhuǎn)移膜的過程中不僅失去了N，而且發(fā)生了石墨化，這與DLC膜的摩擦過程非常相似。 |
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| 上傳人： |
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| 上傳時間： |
2007-07-13 14:47:48 |
| 下載次數(shù)： |
574 |
| 消耗積分： |
2
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