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傾斜襯底沉積法在金屬襯底上外延生長(zhǎng)YBCO薄膜  
傾斜襯底沉積法在金屬襯底上外延生長(zhǎng)YBCO薄膜
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關(guān)鍵詞: YBCO鍍膜導(dǎo)體  傾斜襯底沉積法  外延生長(zhǎng)  
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YBa2Cu3O7-x(YBCO)鍍膜導(dǎo)體在電力等能源領(lǐng)域有巨大應(yīng)用前景。利用傾斜襯底沉積法在無(wú)織構(gòu)的金屬襯底上生長(zhǎng)了MgO雙軸織構(gòu)的模板層,在這一模板層上實(shí)現(xiàn)了雙軸織構(gòu)的YBCO薄膜的外延生長(zhǎng)。這些膜的雙軸織構(gòu)用X射線極圖分析、φ-掃描作了測(cè)定,觀測(cè)到了MgO[001]方向相對(duì)于襯底法線傾斜了31。研究了不同緩沖層材料對(duì)YBCO外延生長(zhǎng)的取向和雙軸織構(gòu)的影響,外延生長(zhǎng)的高質(zhì)量的YBCO薄膜的轉(zhuǎn)變溫度和臨界電流密度分別達(dá)到了91K和5.5105A/cm2的較高的值。
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上傳時(shí)間: 2007-07-13 17:01:09
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