在人工智能、可穿戴設(shè)備和人機(jī)交互技術(shù)快速發(fā)展的推動(dòng)下,柔性壓力傳感器正成為構(gòu)建下一代智能界面的關(guān)鍵核心器件。無(wú)論是用于實(shí)時(shí)健康監(jiān)測(cè)、輔助康復(fù)訓(xùn)練,還是服務(wù)于語(yǔ)音識(shí)別、智能機(jī)器人等系統(tǒng),高性能壓力傳感器都必須同時(shí)具備高靈敏度、寬檢測(cè)范圍、快速響應(yīng)以及環(huán)境適應(yīng)能力。然而,當(dāng)前主流傳感器大多在性能上存在“兩難”問(wèn)題:提高靈敏度往往會(huì)犧牲量程,擴(kuò)大響應(yīng)范圍又容易降低信號(hào)分辨率,尤其在高壓區(qū)段更容易出現(xiàn)響應(yīng)飽和。此外,溫度變化會(huì)對(duì)電容、電阻等傳感信號(hào)造成干擾,進(jìn)一步降低其在復(fù)雜實(shí)際環(huán)境中的穩(wěn)定性。因此,如何在不增加器件復(fù)雜度的前提下,兼顧高靈敏、寬范圍與多模態(tài)感知功能,成為當(dāng)前柔性傳感器領(lǐng)域亟待解決的關(guān)鍵科學(xué)問(wèn)題。
西南大學(xué)張同華/王蜀、河北工業(yè)大學(xué)胡寧、重慶大學(xué)寧慧銘合作開(kāi)發(fā)了一種“基于雙介電層的離子電子壓力傳感器(DLIPS)”,耦合超高靈敏度和寬范圍檢測(cè),用于溫度/壓力雙模傳感和靜音語(yǔ)音識(shí)別。該傳感器實(shí)現(xiàn)了超高靈敏度(72548.7 kPa?1)、寬工作壓力范圍(0.001–420 kPa)、極低的檢出限(0.832 Pa)以及超過(guò) 5000 次循環(huán)的卓越耐用性。通過(guò)利用電容和電阻對(duì)壓力和溫度的不同響應(yīng),集成深度學(xué)習(xí)回歸模型,傳感器可以將溫度和壓力混合信號(hào)進(jìn)行解耦并識(shí)別。由于其超高的靈敏度和檢測(cè)微小壓力波動(dòng)的能力,該傳感器在靜音語(yǔ)音識(shí)別系統(tǒng)中表現(xiàn)出強(qiáng)大的潛力,對(duì)常用單詞的識(shí)別準(zhǔn)確率高達(dá)98.5%。
該成果以“Dual-Dielectric-Layer-Based Iontronic Pressure Sensor Coupling Ultrahigh Sensitivity and Wide-Range Detection for Temperature/Pressure Dual-Mode Sensing”(《基于雙介電層的離子電子壓力傳感器耦合超高靈敏度和寬范圍檢測(cè),用于溫度/壓力雙模傳感》)為題,發(fā)表在材料科學(xué)領(lǐng)域國(guó)際頂尖期刊Advanced Materials上。
創(chuàng)新設(shè)計(jì)和優(yōu)異的傳感性能
圖1展示了DLIPS的設(shè)計(jì)理念與應(yīng)用。研究團(tuán)隊(duì)利用天然蠶繭的多孔結(jié)構(gòu),制備出高介電常數(shù)的蠶繭離子凝膠(SCOG),作為傳感器的上層介電材料。下層則采用高壓縮性的開(kāi)孔聚氨酯泡沫(PU foam),形成雙介電層結(jié)構(gòu)。這種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不僅提高了傳感器的靈敏度,還擴(kuò)展了其工作壓力范圍。基于該結(jié)構(gòu)的DLIPS利用機(jī)器學(xué)習(xí)還能成功對(duì)溫度和壓力進(jìn)行解耦,并在靜音語(yǔ)音識(shí)別系統(tǒng)中表現(xiàn)出巨大的潛力。
圖1. DLIPS 的示意圖和應(yīng)用。a)DLIPS的設(shè)計(jì)及結(jié)構(gòu)示意圖。b)通過(guò)機(jī)器學(xué)習(xí)實(shí)現(xiàn)溫度和壓力解耦。c) DLIPS 對(duì)揚(yáng)聲器在10 Hz下產(chǎn)生的細(xì)微振動(dòng)的響應(yīng),以及從小波變換分析得出的電容信號(hào)的相應(yīng)時(shí)頻分布。d)使用神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)對(duì)基本詞匯進(jìn)行靜音語(yǔ)音識(shí)別。
圖2闡明了DLIPS的傳感機(jī)制。雙介電層結(jié)構(gòu)由低介電常數(shù)、高可壓縮性的介質(zhì)層(LPL)和高介電常數(shù)的介質(zhì)層(HPL) 組成。這兩層協(xié)同工作:LPL充當(dāng)在低壓下的機(jī)械緩沖器,將初始電容保持在個(gè)位數(shù)pF水平,從而提供較低的基線。隨著壓力的增加,HPL內(nèi)的導(dǎo)電物質(zhì)逐漸接觸金電極,形成有效的電雙層,導(dǎo)致電容急劇增加。在較高壓力下,系統(tǒng)進(jìn)入飽和狀態(tài),產(chǎn)生穩(wěn)定且較高的電容響應(yīng)。
此外,作為DLIPS的核心設(shè)計(jì),LPL降低了初始電容并為有效介電常數(shù)的變化提供了空間;HPL提供導(dǎo)電離子和出色的機(jī)械性能,實(shí)現(xiàn)了高效的離子遷移。因此,這些材料的高可壓縮性和多孔結(jié)構(gòu)是必不可少的,因?yàn)樗鼈兲峁┝说?/span>且有效彈性模量以及較小的初始接觸面積,并為改變有效介電常數(shù)創(chuàng)造了有利條件,這對(duì)于在DILIPS中實(shí)現(xiàn)高靈敏度和寬工作壓力范圍至關(guān)重要。
圖2. 蠶繭和蠶繭離子凝膠的表征以及DLIPS的傳感機(jī)制。a) 蠶繭的SEM圖像。b)蠶繭離子凝膠的共聚焦顯微鏡圖像。c)DLIPS在不同壓力下的微觀形貌和傳感機(jī)理。圖像中的紅色虛線代表PU泡沫與蠶繭離子凝膠之間的接觸面。d) DLIPS、蠶繭離子凝膠和 PU 泡沫的應(yīng)力/應(yīng)變曲線。
圖3展示了DLIPS的傳感性能。該傳感器在6–100 kPa壓力區(qū)間內(nèi)的靈敏度高達(dá)72548.7 kPa-1,工作區(qū)間覆蓋0.001–420 kPa,響應(yīng)時(shí)間和恢復(fù)時(shí)間快至30 ms和60 ms,對(duì)連續(xù)壓力和不同頻率的壓力表現(xiàn)出優(yōu)異的響應(yīng),檢測(cè)下限可達(dá)0.832 Pa,耐久性超過(guò)5000次循環(huán)。這些性能指標(biāo)在柔性壓力傳感器領(lǐng)域處于領(lǐng)先水平。
圖3. DLIPS的傳感性能。a)傳感器的靈敏度。b)傳感器的響應(yīng)和恢復(fù)時(shí)間。c)傳感器在連續(xù)壓力下的電容變化曲線。d)傳感器在各種壓力下的電容變化。e) 傳感器檢測(cè)到的高頻壓力信號(hào)的電容變化曲線。f)傳感器最小壓力檢測(cè)的電容變化曲線。g)傳感器的耐久性測(cè)試。h)傳感器的傳感性能比較。
溫度/壓力雙模態(tài)感知與解耦
圖4展現(xiàn)了DLIPS對(duì)溫度和壓力的雙模態(tài)感知與解耦。得益于蠶繭離子凝膠在不同溫度下載流子遷移率的變化特性,研究團(tuán)隊(duì)利用電容與電阻雙通道輸出信號(hào),并引入深度學(xué)習(xí)回歸模型,有效解耦溫度與壓力混合信號(hào),實(shí)現(xiàn)雙模態(tài)精準(zhǔn)感知。在30–50°C溫度區(qū)間內(nèi),溫度和壓力感知線性度高達(dá)0.999和0.991,回歸模型的平均絕對(duì)百分誤差(MAPE)分別為壓力7.139%、溫度0.403%,展現(xiàn)出高度精確的環(huán)境適應(yīng)能力。
圖4. 溫度和壓力信號(hào)的耦合和解耦。在 0–90 kPa 壓力和 30–50 °C 溫度(以 5 °C 為增量)下DLIPS的a)電容響應(yīng),b)相對(duì)電容變化和 c)電阻響應(yīng)。d) 傳感器對(duì)壓力和溫度組合刺激的響應(yīng)示意圖,以及用于去耦的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型,以電容和電阻為輸入,壓力和溫度作為輸出。e)使用電容數(shù)據(jù)、電阻數(shù)據(jù)及其組合訓(xùn)練的模型的訓(xùn)練損失與歸一化紀(jì)元數(shù)的關(guān)系。f)溫度和 g)壓力的預(yù)測(cè)值和實(shí)際值之間的比較。h)40 °C 的溫度測(cè)試室的紅外圖像。i)從壓力傳感器獲取的電容和電阻信號(hào),以及機(jī)器學(xué)習(xí)模型預(yù)測(cè)的相應(yīng)壓力和溫度值。
靜音語(yǔ)音識(shí)別的實(shí)現(xiàn)
研究團(tuán)隊(duì)進(jìn)一步將傳感器應(yīng)用于靜默語(yǔ)音識(shí)別(Silent Speech Recognition, SSR)場(chǎng)景中。通過(guò)在喉部佩戴DLIPS,采集說(shuō)話者在不發(fā)聲狀態(tài)下的喉部肌肉活動(dòng)所引起的微小皮膚變形信號(hào),結(jié)合LSTM神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型,傳感器可實(shí)現(xiàn)對(duì)“hello”、“no”、“yes”等6個(gè)常用詞的準(zhǔn)確識(shí)別,整體識(shí)別率高達(dá)98.5%。該技術(shù)有望在聾啞人輔助交流、隱蔽語(yǔ)音交互、智能穿戴設(shè)備等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)廣泛應(yīng)用。
圖5. 通過(guò)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)輔助分析實(shí)現(xiàn)靜音語(yǔ)音識(shí)別。a)靜音語(yǔ)音識(shí)別過(guò)程和神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)的示意圖。b)DLIPS對(duì)10 Hz音頻信號(hào)引起的結(jié)構(gòu)共振的電容響應(yīng)。插圖:10 Hz時(shí)音頻感應(yīng)振動(dòng)的時(shí)間/位移曲線。c)電容信號(hào)響應(yīng)10 Hz音頻刺激的小波變換分析。d)DLIPS電容對(duì)歸一化振幅為0.008的10 Hz音頻信號(hào)的響應(yīng)。e)DLIPS電容對(duì)歸一化幅度為0.01的10 Hz音頻信號(hào)的響應(yīng)。f)在正常發(fā)音、低語(yǔ)和默讀下,來(lái)自六個(gè)基本單詞的正常發(fā)音聲波形和相應(yīng)的DLIPS電容響應(yīng)。g)從四名參與者那里收集的數(shù)據(jù)集,用于基于深度學(xué)習(xí)的分類。h)使用t-SNE算法的分類可視化。i)說(shuō)明SSR分類準(zhǔn)確性的混淆矩陣。j)不同基于傳感器的平臺(tái)的語(yǔ)音識(shí)別準(zhǔn)確性比較。
該研究提出的雙介電層離子電子壓力傳感器(DLIPS),通過(guò)引入天然蠶繭離子凝膠與高壓縮性泡沫結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了柔性傳感器在靈敏度、響應(yīng)范圍和多模態(tài)識(shí)別能力上的全面突破,充分展示了自然材料與智能算法深度融合的巨大潛力。通過(guò)與深度學(xué)習(xí)模型協(xié)同設(shè)計(jì),該器件不僅具備出色的溫度/壓力信號(hào)解耦能力,更成功拓展至靜音語(yǔ)音識(shí)別等實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景,體現(xiàn)了其作為下一代智能人機(jī)界面核心器件的應(yīng)用價(jià)值。
研究工作得到了國(guó)家自然科學(xué)基金、重慶市自然科學(xué)基金、中央高校基本科研業(yè)務(wù)費(fèi)、重慶市教委科研項(xiàng)目、河北省自然科學(xué)基金及JMRH科技創(chuàng)新項(xiàng)目等多項(xiàng)基金資助。
論文信息
Dual-Dielectric-Layer-Based Iontronic Pressure Sensor Coupling Ultrahigh Sensitivity and Wide-Range Detection for Temperature/Pressure Dual-Mode Sensing
Jianyu Pu, Yuantao Zhang, Huiming Ning*, Yuanhao Tian, Chenxing Xiang, Hui Zhao, Yafeng Liu, Alamusi Lee, Xinglong Gong, Ning Hu*, Tonghua Zhang* and Shu Wang*
Adv. Mater., 2025
https://advanced.onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/adma.202503926
第一作者簡(jiǎn)介
蒲建渝,西南大學(xué)2023級(jí)碩士研究生,研究方向?yàn)槿嵝灾悄軅鞲胁牧霞肮δ懿牧。目前已?/span>Adv. Mater., Nano Mater. Sci., Polymers等國(guó)際期刊發(fā)表論文4篇。
通訊作者簡(jiǎn)介
寧慧銘,重慶大學(xué)副教授,主要從事復(fù)合材料力學(xué),結(jié)構(gòu)和功能復(fù)合材料設(shè)計(jì)制備評(píng)價(jià)等領(lǐng)域的研究工作。目前已在復(fù)合材料領(lǐng)域的一流國(guó)際期刊上發(fā)表SCI 收錄論文70余篇,申請(qǐng)發(fā)明專利10余項(xiàng),論文他引2000多次。近年來(lái)主持和參與了“十三五”裝備預(yù)研領(lǐng)域基金,國(guó)家自然科學(xué)基金以及航空發(fā)動(dòng)機(jī)及燃?xì)廨啓C(jī)重大專項(xiàng)基礎(chǔ)研究項(xiàng)目等十余項(xiàng)重要科研項(xiàng)目。
胡寧,河北工業(yè)大學(xué)教授,博士生導(dǎo)師。獲得過(guò)國(guó)家特聘專家、杰青(B)、國(guó)務(wù)院政府特貼專家等榮譽(yù)。1981-1991年在重慶大學(xué)完成本科-博士教育,之后在南京航空航天大學(xué)、日本東北大學(xué)、清華大學(xué)、約翰·霍普金斯大學(xué)、日本千葉大學(xué)等單位工作,歷任博士后-助理教授-副教授-教授,2013年回國(guó)時(shí)任日本千葉大學(xué)教授、機(jī)械系主任和人工系統(tǒng)科學(xué)專攻長(zhǎng);2013-2019年在重慶大學(xué)工作,創(chuàng)建了航空航天學(xué)院并任首任院長(zhǎng);2019年調(diào)河北工業(yè)大學(xué)工作。他長(zhǎng)期從事計(jì)算固體力學(xué)、功能·結(jié)構(gòu)納米復(fù)合材料、結(jié)構(gòu)和材料的無(wú)損檢測(cè)和實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)技術(shù)等研究,取得了不少創(chuàng)新性成果。出版英文書籍3部、中文書籍2部,申請(qǐng)和獲批中日專利50余項(xiàng),部分實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用,發(fā)表期刊論文600余篇,被引用27000次,H-Index=80。他長(zhǎng)期從事材料力學(xué)、復(fù)合材料力學(xué)、計(jì)算力學(xué)等課程的教學(xué)工作,指導(dǎo)了大量博士和碩士研究生,F(xiàn)任教育部航空航天教學(xué)指導(dǎo)委員會(huì)委員、中國(guó)復(fù)合材料學(xué)會(huì)理事、中國(guó)力學(xué)學(xué)會(huì)常務(wù)理事、河北省力學(xué)學(xué)會(huì)理事長(zhǎng)、重慶市通用航空學(xué)會(huì)常務(wù)副理事長(zhǎng)、天津航空學(xué)會(huì)副理事長(zhǎng)、日本復(fù)合材料學(xué)會(huì)評(píng)議員、十余份國(guó)內(nèi)外期刊的副主編/編委等。
張同華,西南大學(xué)教授,博士生導(dǎo)師,山東德州夏津人。大學(xué)畢業(yè)于中國(guó)紡織大學(xué)紡織工程一系,碩士畢業(yè)于青島大學(xué)紡織服裝學(xué)院,博士畢業(yè)于東華大學(xué)紡織學(xué)院。1995年至2001年,曾在山東德棉集團(tuán)德棉股份有限公司工作6年,從事紡織技術(shù)研發(fā)工作;2008年3月至今,在西南大學(xué)從事教學(xué)科研工作,期間赴澳大利亞迪肯大學(xué)做訪問(wèn)學(xué)者。國(guó)家一流專業(yè)建設(shè)點(diǎn)“紡織工程”專業(yè)負(fù)責(zé)人,“纖維材料與現(xiàn)代紡織技術(shù)”研究團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人,教育部紡織類專業(yè)教指委纖維分會(huì)委員,全國(guó)紡織機(jī)械與附件標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)器材分會(huì)委員,云南省科技廳科技特派員,江蘇省委組織部“雙創(chuàng)人才”,四川省宜賓市“領(lǐng)軍人才專家工作站”負(fù)責(zé)人。
王蜀,西南大學(xué)青年教師,主要從事柔性傳感材料及器件、柔性防護(hù)結(jié)構(gòu)復(fù)合材料、結(jié)構(gòu)功能一體化智能復(fù)合材料等領(lǐng)域的研究工作。目前已在Adv. Mater., Nano Mater. Sci., Mater. Horiz., Compos. B: Eng.等國(guó)際期刊發(fā)表論文20余篇,論文他引400余次。近年來(lái)主持和參與了國(guó)家自然科學(xué)基金青年基金,重慶市自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目,“十三五”裝備預(yù)研領(lǐng)域基金,中國(guó)兵器裝備集團(tuán)西南技術(shù)工程研究所多項(xiàng)橫向項(xiàng)目,中央高;究蒲袠I(yè)務(wù)費(fèi)等科研項(xiàng)目。
誠(chéng)邀關(guān)注高分子科技

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